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薄膜沉積技術

薄膜沉積技術

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級別:| 積分:200 分 | 瀏覽:85593 | 大小:856.00KB | 下載:5083 次 | 上傳:2013-03-22

簡介:

第一章 清洗芯片及濕式蝕刻; 第二章 微影技術; 第三章 氧化技術; 第四章 擴散技術; 第五章 金屬鍍膜; 第六章 真空技術; 第七章 薄膜沉積技術;

[展開]
 

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